产品名称： 爱德华干式真空泵 iXL1000N 维修 产品编号： XSD-050 产品商标： 爱德华 产品规格： iXL1000N 参考价格： 面议 更新日期： 2017/4/13 10:59:26 被阅次数： 178次

edwards iXL 系列干泵满足 平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场 领域涉及的所有排气要求。这些性能*的 泵旨在*大限度地提高基板吞吐量，同时尽可能降低功耗、 占地面积和重量。此外，大修间隔期内无须 维护。

适用于严苛应用的大型 iXL 干泵

iXL1000：紧凑型低能量的干 泵，适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用（如晶圆加工、PVD 和 计量）的*小且*安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通过环保模式可在空闲期间降低设备 使用率，从而降低成本并帮助保护环境。

 

*的舱室 抽空时间可减少总体平均循环时间 (TACT)

仅仅 0.55kW 的功 耗有助于*大程度减少客户拥有成本

环保模式可以在 空闲期间*多减少 92% 的功耗

*高 35oC 的水供给有助于 降低设备冷却水要求

极小且极 轻，有助于节省宝贵的工厂空间