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深圳市信仕德科技有限公司
主营产品:进口真空泵销售,真空泵维修,真空油销售,二手真空泵销售,真空泵配件销售,真
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您现在的位置:深圳市信仕德科技有限公司 >> 产品展示 >> 爱德华干式真空泵 iGX600M 维修
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地 址:广东省深圳市宝安73区国通综合楼首层21号
以下是百度推荐信息
产品展示
产品名称: 爱德华干式真空泵 iGX600M 维修
产品编号: XSD-054
产品商标: 爱德华
产品规格: iGX600M
参考价格: 面议
更新日期: 2017/4/13 10:59:09
被阅次数: 175次
详细说明
iGX600M 干式泵 200-230V 50/60 Hz,PN:A54632958
iGX600M 干式泵 380-460V 50/60 Hz,PN:A54632959
应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
氧化物腐蚀
硅腐蚀
金属腐蚀
植入源
功能和优势
低运行成本
与 iL/iH 干泵相比,设施成本*多可降低 50%
无需预防性维护
灵活的安装选项
小巧轻便,便于安装
工具上、近程或远程
可以改进工具吞吐量
可用的*快的负载锁定泵之一
全程一致的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了环境噪音
仅 55 dB(A)
峰值速度范围宽
100、300、600 和 800 m3h-1
峰值速度: 620 m3h-1
365 cfm
10333 l min-1
极限压力: 7.00E-04 mbar
5.25E-04 Torr
0.07 Pa
700 Torr 排气压力下的极限
极限: 1.6 kW
AUC(有源设备控制器): 0.05 kW
水入口*: 2 slm
氮: 4 或 14 slm
占地面积(不包括排气装置): 0.20 m2
重量: 220 kg
进气口连接: ISO100
出口连接: NW25
极限噪音: < 55 dB(A)
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