产品名称： 爱德华干式真空泵 iH80 维修 产品编号： XSD-058 产品商标： 爱德华 产品规格： iH80 参考价格： 面议 更新日期： 2017/4/13 10:58:59 被阅次数： 180次

iH80 干式泵 460V，60 Hz，3 相，PN：A59000908

iH80 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相，PN：A59000945

iH80 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相，PN：A59000946

iH80 干式泵 230V，60 Hz，3 相，PN：A59000957

Edwards 高级半导体真空泵已经过现场应用证明，可以按照*高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率，同时*大程度地减小占地面积、降低运行成本，实现了高的可靠性和性能。

  

Edwards iH 系列为难以执行的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程）提供了高可靠性。

应用

负载锁

输送

计量

平版印刷

PVD 制程

PVD 预清洁

RTA

剥离/灰化

刻蚀

植入源

HDP CVD

RTP

SACVD

MCVD

PECVD

LPCVD

ALD

功能和优势

优化了设施消耗。

无需预防性维护。

悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。

在节省电机功率的同时*大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。

耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。

较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的安全保证。

整体式轴杆无需使用电机联结器，而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积，从而降低了总体占地面积。

峰值速度:   103 m3h-1

            61 cfm

            1717 l min-1

极限真空:   1 x 10-2 mbar

            7.5 x 10-3 Torr

             1 Pa

典型轴封氮流量: 4 slm

进气口连接: ISO63

出口连接:  NW40

15 psi 压降下典型冷却水流量:     120 l h-1

                                 2   l min-1

重量:  240 kg

极限功率输入: 2.7 kW

电机额定功率: 3.5 kW

油容量:  0.7 l